特許7759807コバルト基板のＣＭＰ後洗浄のための組成物及び方法

発明の名称　コバルト基板のＣＭＰ後洗浄のための組成物及び方法

出願人　インテグリス・インコーポレーテッド　（識別番号 505307471）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 348 位（26件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7759807

公報発行日　2025年10月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7759807

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