発明の名称 アモルファスカーボン膜の分子層堆積
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 12 位(11件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 22 位(10件)(共同出願を含む)
出願人 ナショナル ユニヴァーシティー オブ シンガポール (識別番号 507335687)
特許公開件数ランキング 248 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 956 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7761390
公報発行日 2025年10月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7761390
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