特許7761626ペデスタル用のＲＦ接地構成

発明の名称　ペデスタル用のＲＦ接地構成

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 24 位（271件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 63 位（132件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7761626

公報発行日　2025年10月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7761626

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