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▶ メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングの特許一覧
特許7763254改善されたパターンプロファイル及び焦点深度（ＤＯＦ）を有するポジ作動型フォトレジスト組成物
発明の名称 改善されたパターンプロファイル及び焦点深度（ＤＯＦ）を有するポジ作動型フォトレジスト組成物
出願人 メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング （識別番号 591032596）
特許公開件数ランキング 247 位（130件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 357 位（74件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7763254
公報発行日 2025年10月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7763254
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