特許7764239高抵抗シリコンウェーハの厚さ測定方法及び平坦度測定方法

発明の名称　高抵抗シリコンウェーハの厚さ測定方法及び平坦度測定方法

出願人　グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社　（識別番号 312007423）

　　　　特許公開件数ランキング 300 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 481 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7764239

公報発行日　2025年11月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7764239

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