特許7764804マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置

発明の名称　マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（25件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 716 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7764804

公報発行日　2025年11月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7764804

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7764804「マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録