特許7770611壁部材およびプラズマ処理装置

発明の名称　壁部材およびプラズマ処理装置

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 31 位（236件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25 位（241件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7770611

公報発行日　2025年11月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7770611

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