特許7770849研磨パッド、研磨装置、および研磨方法

発明の名称　研磨パッド、研磨装置、および研磨方法

出願人　グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社　（識別番号 312007423）

　　　　特許公開件数ランキング 540 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7770849

公報発行日　2025年11月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7770849

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