特許7771095線状空間寸法が５０ｎｍ以下のパターン材料を処理する際のパターン崩壊防止用のアンモニアとアルカノールとからなる組成物の使用法

発明の名称　線状空間寸法が５０ｎｍ以下のパターン材料を処理する際のパターン崩壊防止用のアンモニアとアルカノールとからなる組成物の使用法

出願人　ビーエーエスエフ　ソシエタス・ヨーロピア　（識別番号 508020155）

　　　　特許公開件数ランキング 117 位（267件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 219 位（136件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7771095

公報発行日　2025年11月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7771095

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