発明の名称 感光性エレメント、及び、レジストパターンの形成方法
出願人 日立化成株式会社 (識別番号 4455)
特許公開件数ランキング 85 位(338件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 46 位(455件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7772210
公報発行日 2025年11月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7772210
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