発明の名称 放電チャンバのための電極
出願人 サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー (識別番号 513192029)
特許公開件数ランキング 1367 位(15件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1438 位(12件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7772679
公報発行日 2025年11月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7772679
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