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特許7772810熱伝達を改善した平坦なポケットサセプタの設計
発明の名称 熱伝達を改善した平坦なポケットサセプタの設計
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 23 位（269件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 63 位（132件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7772810
公報発行日 2025年11月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7772810
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