特許7773630小さなターゲットを使用して校正されるオーバーレイ誤差の測定

発明の名称　小さなターゲットを使用して校正されるオーバーレイ誤差の測定

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 345 位（89件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 277 位（98件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7773630

公報発行日　2025年11月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7773630

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