特許7774104時間依存欠陥検査装置

発明の名称　時間依存欠陥検査装置

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 225 位（144件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 336 位（79件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7774104

公報発行日　2025年11月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7774104

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