特許7774651プラズマ処理システム

発明の名称　プラズマ処理システム

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 31 位（236件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25 位（241件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7774651

公報発行日　2025年11月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7774651

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