特許7774725プラズマ半導体処理用のセグメント化されたフォーカスリングおよびセグメント化されたフォーカスリングを使用するように構成された処理ツール

発明の名称　プラズマ半導体処理用のセグメント化されたフォーカスリングおよびセグメント化されたフォーカスリングを使用するように構成された処理ツール

出願人　北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司　（識別番号 510182294）

　　　　特許公開件数ランキング 1017 位（21件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 961 位（19件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7774725

公報発行日　2025年11月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7774725

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