特許7775283荷電粒子装置用の高電圧フィードスルー及びコネクタ

発明の名称　荷電粒子装置用の高電圧フィードスルー及びコネクタ

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 228 位（147件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 345 位（79件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7775283

公報発行日　2025年11月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7775283

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