発明の名称 半導体製造のための環境効率監視・探査プラットフォーム
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 24 位(271件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 63 位(132件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7775441
公報発行日 2025年11月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7775441
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