特許7775477回転ディスク上の複数のプラテンの静電クランプを制御するためのシステム及び方法

発明の名称　回転ディスク上の複数のプラテンの静電クランプを制御するためのシステム及び方法

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 23 位（272件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 63 位（132件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7775477

公報発行日　2025年11月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7775477

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