特許7780387シール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法

発明の名称　シール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 36 位（601件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（798件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7780387

公報発行日　2025年12月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7780387

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7780387「シール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録