発明の名称 CMP装置
出願人 株式会社東京精密 (識別番号 151494)
特許公開件数ランキング 327 位(7件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 192 位(10件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7780906
公報発行日 2025年12月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7780906
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