特許7789748自動化された半導体基板の研磨および洗浄

発明の名称　自動化された半導体基板の研磨および洗浄

出願人　グローバルウェーハズ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 518112516）

　　　　特許公開件数ランキング 796 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 765 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7789748

公報発行日　2025年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7789748

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7789748「自動化された半導体基板の研磨および洗浄」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録