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特許7802116単一基板洗浄チャンバを有するモジュール式研磨システムにおける基板ハンドリング
発明の名称 単一基板洗浄チャンバを有するモジュール式研磨システムにおける基板ハンドリング
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 28 位（153件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 49 位（94件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7802116
公報発行日 2026年1月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7802116
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