特許7803205荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム

発明の名称　荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 350 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 632 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7803205

公報発行日　2026年1月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7803205

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