特許7805065リアクタインターフェースに嵌合された弾性物体を使用したプロセスガスの格納

発明の名称　リアクタインターフェースに嵌合された弾性物体を使用したプロセスガスの格納

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 28 位（153件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 49 位（94件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7805065

公報発行日　2026年1月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7805065

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