特許7807582基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー　（識別番号 522041444）

　　　　特許公開件数ランキング 2767 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2276 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7807582

公報発行日　2026年1月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7807582

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