特許7808193ロバストなインラインツールマッチングを用いた半導体測定

発明の名称　ロバストなインラインツールマッチングを用いた半導体測定

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 347 位（12件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 406 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7808193

公報発行日　2026年1月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7808193

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