特許7809022半導体ウェーハの不純物測定方法及び不純物測定用治具

発明の名称　半導体ウェーハの不純物測定方法及び不純物測定用治具

出願人　グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社　（識別番号 312007423）

　　　　特許公開件数ランキング 1018 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 638 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7809022

公報発行日　2026年1月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7809022

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