特許7811254複数の測定列を用いた大規模オーバレイ計測サンプリング

発明の名称　複数の測定列を用いた大規模オーバレイ計測サンプリング

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 356 位（12件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 430 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7811254

公報発行日　2026年2月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7811254

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