特許7813279確率的フォトレジスト厚み欠陥の予測及び計量

発明の名称　確率的フォトレジスト厚み欠陥の予測及び計量

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 284 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 447 位（18件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7813279

公報発行日　2026年2月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7813279

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