特許7813613マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法

発明の名称　マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 350 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 632 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7813613

公報発行日　2026年2月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7813613

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