特許7818006銅及びシリコン貫通電極（ＴＳＶ）のための化学機械平坦化（ＣＭＰ）

発明の名称　銅及びシリコン貫通電極（ＴＳＶ）のための化学機械平坦化（ＣＭＰ）

出願人　バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 517114182）

　　　　特許公開件数ランキング 1513 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1273 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7818006

公報発行日　2026年2月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7818006

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