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特許7820366静電チャック用電源信号の調整
発明の名称 静電チャック用電源信号の調整
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 22 位（134件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 41 位（90件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7820366
公報発行日 2026年2月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7820366
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