特許7826005冷却フードの高速温度制御のためのガス混合

発明の名称　冷却フードの高速温度制御のためのガス混合

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 156 位（45件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 272 位（21件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7826005

公報発行日　2026年3月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7826005

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