特許7828348半導体ウエハリアクタ中の輻射熱キャップのためのシステムと方法

発明の名称　半導体ウエハリアクタ中の輻射熱キャップのためのシステムと方法

出願人　グローバルウェーハズ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 518112516）

　　　　特許公開件数ランキング 610 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 574 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7828348

公報発行日　2026年3月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7828348

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