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特許7833150シリコン膜の製造方法
発明の名称 シリコン膜の製造方法
出願人 株式会社日本触媒 （識別番号 4628）
特許公開件数ランキング 387 位（20件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 231 位（32件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人広島大学 （識別番号 504136568）
特許公開件数ランキング 332 位（29件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 679 位（19件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7833150
公報発行日 2026年3月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7833150
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