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特許7836484分散型プラズマ源アレイ
発明の名称 分散型プラズマ源アレイ
出願人 ラム リサーチ コーポレーション （識別番号 592010081）
特許公開件数ランキング 158 位（55件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 160 位（48件）（共同出願を含む）
出願人 アドバンスド・エナジー・インダストリーズ・インコーポレーテッド （識別番号 526065202）
特許公開件数ランキング 12572 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 10618 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7836484
公報発行日 2026年3月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7836484
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