特許7836664ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像

発明の名称　ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 158 位（55件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 160 位（48件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7836664

公報発行日　2026年3月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7836664

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