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特許7836808熱損失を最小化し、均一性を改善するための加熱式基板支持体
発明の名称 熱損失を最小化し、均一性を改善するための加熱式基板支持体
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 29 位（175件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 55 位（102件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7836808
公報発行日 2026年3月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7836808
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