特許7836908収差補正器、荷電粒子線装置及び収差補正方法

発明の名称　収差補正器、荷電粒子線装置及び収差補正方法

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 174 位（48件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 65 位（93件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7836908

公報発行日　2026年3月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7836908

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