特許7840318ウエハベベルエッジのプラズマ処理におけるアーキングの低減

発明の名称　ウエハベベルエッジのプラズマ処理におけるアーキングの低減

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 158 位（55件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 160 位（48件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7840318

公報発行日　2026年4月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7840318

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7840318「ウエハベベルエッジのプラズマ処理におけるアーキングの低減」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録