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特許7842151真空配管中粒子モニタリング装置及び真空配管中粒子モニタリング方法
発明の名称 真空配管中粒子モニタリング装置及び真空配管中粒子モニタリング方法
出願人 新日本空調株式会社 （識別番号 390018474）
特許公開件数ランキング 1566 位（4件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1714 位（3件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社アルバック （識別番号 231464）
特許公開件数ランキング 535 位（25件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 626 位（12件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7842151
公報発行日 2026年4月7
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7842151
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