特許7843825多結晶シリコンの製造装置

発明の名称　多結晶シリコンの製造装置

出願人　株式会社トクヤマ　（識別番号 3182）

　　　　特許公開件数ランキング 307 位（40件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 244 位（46件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7843825

公報発行日　2026年4月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7843825

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