特許7844585半導体デバイスの位置ずれを測定する多層モアレ標的

発明の名称　半導体デバイスの位置ずれを測定する多層モアレ標的

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 280 位（39件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 457 位（19件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7844585

公報発行日　2026年4月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7844585

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