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特許7846951原子層堆積法で堆積させた耐浸食性金属酸化物コーティング
発明の名称 原子層堆積法で堆積させた耐浸食性金属酸化物コーティング
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 23 位（272件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 63 位（134件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7846951
公報発行日 2026年4月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7846951
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