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特許7851318ＣＤに依存する間隙充填及びコンフォーマル膜
発明の名称 ＣＤに依存する間隙充填及びコンフォーマル膜
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 24 位（271件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 63 位（132件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7851318
公報発行日 2026年4月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7851318
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