特許7853219ケイ素含有薄膜の堆積のための有機アミノ官能基を有する環式オリゴシロキサン

発明の名称　ケイ素含有薄膜の堆積のための有機アミノ官能基を有する環式オリゴシロキサン

出願人　バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 517114182）

　　　　特許公開件数ランキング 845 位（11件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 753 位（11件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7853219

公報発行日　2026年4月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7853219

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