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特許7860147単一リソグラフィ露光パスにおいて複数の空間像を形成する
発明の名称 単一リソグラフィ露光パスにおいて複数の空間像を形成する
出願人 サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー （識別番号 513192029）
特許公開件数ランキング 1581 位（5件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1391 位（6件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7860147
公報発行日 2026年5月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7860147
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