【図1】
第1の発光モジュールを例示する模式的な上面図である。
【図2】
図1のII部の拡大図である。
【図3】
図2のIII-III線における矢視断面であり、第1の発光モジュールを例示する模式的な断面図である。
【図4】
第1の実施形態の変形例に係る発光モジュールを例示する模式的な上面図である。
【図5A】
第1の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図5B】
第1の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図6A】
第1の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図6B】
第1の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図7A】
第1の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図7B】
第1の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図8A】
第1の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図8B】
第1の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図9A】
第1の発光モジュールの製造方法の変形例を例示する模式的な断面図である。
【図9B】
第1の発光モジュールの製造方法の変形例を例示する模式的な断面図である。
【図10】
第1の発光モジュールの製造方法の変形例を例示する模式的な断面図である。
【図11】
第2の発光モジュールを例示する模式的な断面図である。
【図12A】
第2の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図12B】
第2の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図13A】
第2の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図13B】
第2の発光モジュールの製造方法を例示する模式的な断面図である。
【図14】
第3の発光モジュールを例示する模式的な断面図である。
【図15】
第4の発光モジュールを例示する模式的な断面図である。
【図16A】
第4の実施形態の変形例1に係る発光モジュールを例示する模式的な断面図である。
【図16B】
第4の実施形態の変形例2に係る発光モジュールを例示する模式的な断面図である。
【図16C】
第4の実施形態の変形例3に係る発光モジュールを例示する模式的な断面図である。
【図17】
第5の発光モジュールを例示する模式的な断面図である。