特許 7879420出願番号特願 2022-101968
発光体の製造方法、及び発光体を備える発光素子の製造方法

出願人日亜化学工業株式会社（識別番号 226057）

2026年特許公開件数ランキング 85位 219件（※）

2026年特許取得件数ランキング 124位 142件（※）

公報発行日　2026年6月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7879420　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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発光体の製造方法、及び発光体を備える発光素子の製造方法

ＭＯＣＶＤ法に用いることが可能な希土類元素の原料は選択肢が多くない。したがって、希土類元素を含む原料の選択肢の多い製造方法が求められている。

第一態様は、窒化物の結晶を含む前駆体を準備することと、希土類元素を含む気体を、前記前駆体に接触させて、前記希土類元素を前記前駆体に添加することと、を含む発光体の製造方法である。

本開示の一態様によれば、発光体の製造方法、及び発光体を備える発光素子の製造方法において、希土類元素を含む気体を得るための原料の選択肢の多い製造方法を提供することができる。

【図1】発光素子の一例を表す模式断面図である。

【図2A】共振器を含む光回路の一例を表す模式平面図である。

【図2B】共振器を含む光回路の他の一例を表す模式平面図である。

【図2C】共振器を含む光回路の他の一例を表す模式平面図である。

【図3】発光体の製造方法の一例を表すフローチャートである。

【図4】希土類元素を前駆体に添加する工程の一例を表すフローチャートである。

【図5】発光体の製造方法の他の例を表すフローチャートである。

１発光体１Ｒ共振器２ｎ側窒化物半導体層３活性層４ｐ側窒化物半導体層５負電極６正電極７基板８光導波路９励起源３０励起源１００発光素子２００光回路

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